

设备催熟与验证的任务。在该机构的中试中心,可以帮助国产化设备进行导入、验证、提升工作,目前,该平台已在8吋SiC/GaN工艺平台导入国内14家厂商20余台首台套国产设备,覆盖衬底、外延、量测、刻蚀、清洗等功率器件制造细分领域,打破了半导体设备被国外垄断局面。 深圳平湖实验室分析检测中心主任曾威向记者表示,平湖实验室搭建的中心平台,不仅为机构自身的研究工作提供力量,也助力受限于资金情况的企业加快研
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发布时间:00:23:22
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